電子と光子による半導体表面欠陥の生成
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概要
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原子分解能を持っ超高真空走査トンネル顕微鏡(STM)を用いて,一般的に電子分光法で用いられている電子の照射条件で,半導体表面が高い効率で損傷されることを報告する.この実験結果は,最も基本的な電子-固体表面の相互作用の再考を促すとともに,原子サイズにおける表面微細加工技術の発展研究が期待できる.
- 社団法人日本物理学会の論文
- 2000-04-05
著者
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中山 幸仁
Department Of Materials Science & Chemical Engineering University Of Minnesota
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WEAVER John
Department of Materials Science & Chemical Engineering, University of Minnesota
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中山 幸仁
東北大学金属材料研究所
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Han B.Y.
Department of Materials Science and Chemical Engineering, University of Minnesota
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Han B.y.
Department Of Materials Science And Chemical Engineering University Of Minnesota
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Weaver J
Univ. Minnesota Mn Usa
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Weaver John
Department Of Materials Science & Chemical Engineering University Of Minnesota
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