低速電子照射で生成するSi表面欠陥

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 1999-10-20

著者

• 中山 幸仁

  Department Of Materials Science & Chemical Engineering University Of Minnesota

• 中山 幸仁

  ミネソタ大学

• WEAVER John

  ミネソタ大学

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