23p-L-10 イオン打ち込みSiにおける格子欠陥の活性化エネルギー

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1973-11-22

著者

• 清水 立生

  金沢大工

• 長谷川 誠一

  金沢大工

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