25p-L-2 低速多価イオンによる絶縁体のスパッタリングの研究

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1992-09-14

著者

• 小牧 研一郎

  東大教養

• 山崎 泰規

  東大教養

• 東 俊行

  東大教養

• 角谷 暢一

  東大教養

• 黒木 健郎

  科警研

• 角谷 暢一

  東大教養:科警研a

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