3a-E-14 櫛型電極静電アクチュエータの開発
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1998-09-05
著者
-
坪野 公夫
東大理
-
河邊 径太
Caltech
-
沼田 健司
東大理物理
-
河邊 径太
東大理
-
関谷 淳
日本放送協会
-
関谷 淳
東大理
-
Sannibale V.
California Institute of Technology
-
沼田 健司
東大理
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