樹脂埋め込み型高周波 MCM の新構造とエッチング/プレス一括成形工法
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概要
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チップのダイボンドや位置合わせなどの工程簡略化や電極取り出し方法, 基板の反り低減などの課題を解決する, 新しい着想に基づいたMCM構造とそれを実現するためのエッチング/プレス一括成形工法の提案, ならびにこの新工法の有効性を試作により明らかにした。エッチング/プレス一括成形工法の導入により, (1) 工程の簡略化(所要時間∿1/2)・リードレス電極構造の形成, (2) 基板掘り込み・両面研削加工による薄形MCM(厚さ<0.5mm)の実現等の見通しが得られた。また, モジュールの"井"形状隔壁構造と機械的矯正法の適用により, Cu基板の反り量を30μm程度に低減できることを明らかにした。
- 社団法人エレクトロニクス実装学会の論文
- 1998-09-01
著者
-
林 達哉
旭川医科大学耳鼻咽喉科・頭頸部外科学講座
-
山田 宏治
株式会社日立製作所中央研究所
-
山下 喜市
株式会社日立製作所中央研究所
-
関根 健治
株式会社日立製作所中央研究所
-
加賀谷 修
株式会社日立製作所中央研究所
-
山下 喜市
株式会社日立製作所中央研究所:鹿児島大学工学部電気電子工学科
-
加賀谷 修
(株)日立製作所中央研究所
-
関根 健治
(株)日立製作所 中央研究所
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