CVDダイヤモンド膜の表面粗さに及ぼす砥石速度の影響

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概要

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• This paper describes the influence of grinding speed on the surface roughness of CVD diamond. Polycrystalline CVD diamond films coated on the ceramics pieces was ground by vitrified bonded diamond wheel of #1500. The surface roughness of CVD diamond films decreases from 0.14μmRmax to 0.07μmRmax when the wheel speed at grinding point increases from 314m/min to 1570 m/min. The temperature at grinding point was estimated. Relation between the temparature at grinding point and the surface roughness od CVD diamond films was linear. The temperature was over 750℃ when the surface roughness was 0.07μmRmax.

• 公益社団法人精密工学会の論文
• 2000-09-05

著者

• 坂本 亨

  姫路工業大学 大学院工学研究科 機械系工学専攻

• 尾崎 勝彦

  (株)神戸製鋼所

• 尾崎 勝彦

  (株)神戸製鋼所機械研究所

• 坂本 亨

  姫路工大 工

• 本西 英

  MMCコベルコツール(株)

• 坂本 亨

  姫路工業大学 工学部機械工学科

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