ULSIデバイス実現のための平坦化技術の必要性(<特集>機械的プラナリゼーション技術)

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概要

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• 公益社団法人精密工学会の論文
• 1996-04-05

著者

• 桜井 道雄

  日本電気(株)マイクロコンピュータ事業部

• 隣 真一

  日本電気(株)

• 隣 真一

  日本電気(株)ulsiデバイス開発研究所

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