積層型静電アクチュエータの試作
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概要
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This paper describes the structure and motion characteristics of a newly developed electrostatic actuator. The actuator consists of two electrodes with insulating plates which are stacked in a structure of double helicoid. This structure enables the two electrodes in each layer to be positioned in a short distance with keeping large displacement of the actuator. Therefore, the actuator achieves large output power and displacement. Experimental results reveal that the actuator has a fall of output power caused by charge of the insulating plates. However, the fall can be suppressed by driving the actuator with turning the pole of electrodes each time. A molluscan actuator is finally introduced which features flexibility, another structural peculiarity of the developed actuator.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1993-10-05
著者
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