球体校正法による機上三次元形状計測(第2報) : 受動関節を持つプローブ保持用自由度アーム
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概要
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球体を基準とする機上三次元形状計測システムによる測定を自動化するために, 受動関節を持つプローブ保持用多自由度アームを開発した.本論文をまとめると以下のようになる.<BR>(1) 球体校正法に用いるプローブ保持アームの要求仕様についてまとめた.そして, 多自山度, スリム, 小型を同時に満足するように受動型関節を採用し, 4自由度を持つアームを試作した.<BR>(2) 試作した多自由度アームを位置決めするアルゴリズムを示した.<BR>(3) 試作した多自由度アームの位置決め精度は, 位置誤差で4mm以下, 姿勢誤差で3°以下であり, 要求仕様を満足していた.このアームを用いてブロックゲージおよびボール原点ブロックを測定した結果, 誤差の平均値は2μm, 標準偏差は3μmであった.<BR>(4) 試作したアームを用いて形状と表面粗さを測定した.測定結果は, 市販の三次元座標測定機と表面粗さ計による測定結果と同等であった.<BR>今後は, 相互相関を用いた形状評価法と組み合わせることで, 機上三次元形状計測・評価システムを構築する予定である.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1998-01-05
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