AFMによるシリコンウエハのナノメートル切削 : 第1報 ウエハの酸化の影響
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2000-03-01
著者
-
古谷 克司
豊田工業大学
-
毛利 尚武
豊田工業大学
-
稲村 豊四郎
金沢大学工学部
-
稲村 豊四郎
名古屋工業大学
-
武澤 伸浩
名古屋工業大学
-
島田 尚一
大阪大学 大学院 工学研究科
-
郭永 豊
ハルビン工業大学
関連論文
- 14・3 アクチュエータ(14.機素潤滑設計,機械工学年鑑)
- 惑星探査のための小型振動加工機の基本構成
- 電流パルス駆動によるアザラシ型位置決め機構の高分解能化
- 圧電効果を用いたセンサ
- 高品質放電加工面の創成に関する研究 : 加工条件の違いによる硬質膜への影響
- 高品質放電加工面の創成に関する研究
- ウォータジェット放電加工における加工現象
- ウォータージェット放電加工に関する研究
- ローカル・マシニング・ステーション方式による精密加工(第3報) -可変長脚を持つシステム-
- 超小型電極送り機構を用いたドットマトリクス方式による三次元形状創成加工法
- 超小型電極送り機構を用いたドットマトリクス方式による三次元創成加工法(第2報) -加工ユニットの動作の確認と加工実験-
- 粉末混入放電加工における堆積メカニズムの解析 : 放電エネルギーと加工時間の関係
- 粉末混入放電加工による仕上げ面および潤滑面の同時形成(第3報) : 回転電極の適用
- 粉末混入放電加工における仕上げ面および潤滑面の同時形成(第2報) : 極間における粒子挙動の観察
- 軽強度自転車運動時の下肢筋血流に及ぼす下半身陰圧負荷の影響
- 電気加工ビギナーのためのリレー講義(その8) : 力の測定
- F06(2) 電流パルスを用いた圧電アクチュエータの駆動法(F06 ブレイクスルーを生み出す次世代アクチュエータ,先端技術フォーラム,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 非鉛圧電アクチュエータの技術動向と応用(無鉛圧電材料・素子)
- 旋盤型電解放電加工機による絶縁物の加工
- ワイヤ放電加工におけるワイヤ振動を考慮したシステム同定(第1報)
- 圧電アクチュエーター精密位置決めへの応用(はじめての精密工学)
- 3自由度アザラシ型位置決め機構の移動特性の改善
- 圧電アクチュエータを用いた一方向ブレーキ機構
- 液中放電による硬質粉体の分散を利用したワイヤ工具製作法の可能性検討
- 走行ワイヤ工具の放電表面処理と複合加工への応用
- SPM型ナノ加工機の開発(第4報):バラレル機構をもつ微動機構によるナノ加工機としての可能性の検討
- 摩擦力の差を利用したアザラシ型精密位置決め機構の開発:第4報微動特性
- SPM型ナノ加工機の開発(第3報) : リンクの微小歪みによる変位誤差の影響と評価
- 水系加工液における放電加工特性 (加工液温度と気体混入の効果)
- 摩擦力の差を利用したアザラシ型精密位置決め機構の開発(第3報) : 粗動モードにおける波形パラメータの影響
- アザラシ型3自由度機構の粗動モードにおける位置決め特性
- 摩擦力の差を利用したアザラシ型精密位置決め機構の開発(第1報) 粗動特性
- 慣性力により摩擦力を制御するアザラシ型精密位置決め機構の移動特性
- 摩擦力の差を利用したアザラシ型精密位置決め機構の開発 : (第5報)負荷の影響
- 摩擦力の差を利用したアザラシ型3自由度機構の粗動特性
- ワイヤ放電加工における電極振動の研究(第5報) -電極振動を考慮した加工システムの同定-
- パラレルメカニズムを用いた走査放電加工用エンドエフェクタの開発
- インチワーム機構を用いたパラレルリンクマニピュレータの開発(第3報) -運動精度の測定-
- 走行ワイヤ工具の放電表面処理と複合加工への応用(第2報) : ワイヤ放電加工面の機上処理
- 走行ワイヤ工具の表面処理と複合加工への応用
- 走行ワイヤ工具の放電表面処理と複合加工への応用
- 放電表面処理における放電位置の観察
- 絶縁性セラミクス放電加工における加工現象(第2報) -工具電極材料による加工特性-
- 絶縁性セラミックス放電加工における加工現象
- ワイヤ放電加工におけるワイヤ振動挙動に関する研究
- 絶縁性セラミックスの放電加工における加工現象 -コンデンサ放電の効果-
- ワイヤ電極振動に及ぼす単発放電衝撃力の影響
- ワイヤ放電加工におけるワイヤ電極振動系の過渡応答
- ワイヤ放電加工における動的システムに関する考察
- ワイヤ放電加工におけるワイヤ電極振動のモード分解
- ワイヤ放電加工における電極振動の研究(第4報) -電極振動系の同定-
- ワイヤ放電加工におけるワイヤ電極振動系の過渡応答
- ワイヤ放電加工における電極振動の研究(第3報) -ワイヤ振動シミュレータの開発-
- ワイヤ放電加工におけるワイヤ電極振動のモード分解
- レーザ焼結による粉末積層造形鋳型
- レーザ焼結による粉末積層造形鋳型
- 粉末混入放電加工による仕上げ面および潤滑面の同時形成
- 408 液中放電による硬質粉体の拡散を利用した研削砥石の製作法(OS8 電気加工の基礎と応用)
- 液中放電による絶縁体の拡散を利用した研削砥石の製作法に関する基礎研究
- 粉末混入放電加工による仕上げ面および潤滑面の同時形成
- 液中放電による絶縁体の拡散を利用した研削砥石の製作法 : 第1報 提案と基礎実験
- 細線電極による除去/堆積加工
- 単発放電によるマイクロ加工用電極の成形メカニズム
- 細線電極を用いた放電加工による堆積加工
- 粉末混入加工液による放電堆積加工(第一報) 可能性の検討
- 細線電極による電極消耗現象
- 電極形態の違いによる放電加工特性
- 形状フィードバック型精密加工システムの開発(第2報) -2次元形状の修正-
- 電極角部消耗の微視的観察
- ドットマトリクス方式を用いた放電加工による3次元形状創成加工法(第1報) : 加工法の提案
- ドットマトリクス方式放電加工における放電分散現象の観察
- 差動型アクチュエータの研究 (第7報) -差動型フリクションドライブ機構の基本特性-
- 超小型電極送り機構を用いたドットマトリクス方式による三次元形状創成加工法 (第3報)-電極消耗量の補償効果-
- ドットマトリクス方式を用いた放電加工による3次元形状創成加工法(第2報) : 放電分散の観察
- 細線電極による放電表面処理
- 超小型電極送り機構を用いたドットマトリクス方式による三次元形状創成加工法(第4報) -放電分散の観察-
- 多面体校正法による機上形状計測(第1報) : 放電加工機への適用
- 絶縁性セラミックスの放電加工における加工面の観察
- 絶縁性セラミックスの放電加工における補助電極材の影響(第1報)
- 絶縁性セラミックス放電加工における加工現象
- 放電加工における極間電圧と加工安定性に関する研究
- 細線電極を用いた放電加工における極間現象
- AFMによるシリコンウエハのナノメートル切削 : 第1報 ウエハの酸化の影響
- ローカル・マシニング・ステーション方式による放電加工
- 動圧を利用した研削砥石のインプロセス計測 (第2報)実機を用いた検討
- 球体校正法による機上三次元形状計測(第2報) : 受動関節を持つプローブ保持用自由度アーム
- 球体校正法による機上三次元形状計測(第1報) : 測定原理および測定精度
- 曲面による補間を用いた形状評価
- 球体校正法による機上計測(第5報) -測定精度の検討-
- 球体校正法による機上計測(第4報) -プローブ保持用アームの性能評価と実計測への適用-
- 球体校正法による機上計測(第3報) -プローブ保持用多関節アームの試作-
- ワイヤ放電加工機による絶縁性セラミックスの加工 -第2報 電気条件, ワイヤ材質による加工特性の変化-
- 絶縁性Si_3N_4セラミックスの放電加工状態の遷移
- コンデンサ放電によるSi_3N_4セラミックスの加工
- 粉末混入放電加工による仕上げ面および潤滑面の同時形成(第2報) : 状態の観察による付着プロセスの推定
- 二硫化モリブデン粉末混入放電加工による潤滑面形成時の加工現象の観察
- 粉末混入放電加工による仕上げ面および潤滑面の同時形成 : (第2報)加工状態の測定
- 動圧を利用した湿式研削における砥石磨耗のインプロセス測定(第1報) : 測定原理
- 動圧を利用した研削砥石のインプロセス計測 (第1報)原理と基礎実験
- 液中放電による硬質粉体の分散を利用した砥粒層の形成(第2報) : 研削による砥粒層の評価