Sub 100nm SOI MOSFETの横方向不純物拡散制御の重要性とプロセス指針に関する研究 (産学連携への掛け橋)

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概要

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• 関西大学の論文
• 2002-09-30

著者

• 大村 泰久

  関西大学 大学院工学研究科:関西大学・先端科学技術推進機構

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