SnO_2蒸着薄膜ガス・センサの作成とそのガス感度特性
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概要
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Sn02粒状体を蒸着し,電気炉中において熱処理することにより, SnO_2薄膜ガス・センサが作成された。種々の条件で熱処理された試料を比較すると. 600℃で30分間熱処理された試料が最大のエタノール・ガス感度を示した。熱処理温度と熱処理時間を増加させると,SnO_2構造の完全な形成と結晶化の進行状況がX線回折によって確認された。ガス感度はセンサの半導体特性に依存するだけでなく,薄膜内のガス吸着特性にも依存することがわかった。
- 大同工業大学の論文
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