異方性エッチングにより製作した精密部分の性能と光通信部品への応用

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概要

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• One of the most important problems of technology for more optical-communication growth is to manufacture accurate parts economically and to align their plural parts at lower submicron level to get high coupling efficiency. For a multi-axis device, total performance depends on the relative position of axes which are dominated by a positionner like a V-grooved part. For testing and evaluating two type of V-groove fabricated by precise grinding and by anisotropic etching, the precise alignment system has been developed employing piezo actuater and parallel plate structure stage. The etching V-grooved showed consequently high accuracy in dimension and remarkably small deviation in each port coupling efficiency.

• 沼津工業高等専門学校の論文
• 1995-01-31

著者

• 楠井 直樹

  沼津工業高等専門学校

• 楠井 直樹

  沼津工業高等専門学校機械工学科

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