4H-SiCエピタキシャル成長における欠陥挙動解析と欠陥制御技術
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概要
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- 2013-04-30
著者
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鎌田 功穂
電力中央研究所
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土田 秀一
電力中央研究所
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田沼 良平
電力中央研究所材料科学研究所
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伊藤 雅彦
電力中央研究所材料科学研究所
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長野 正裕
電力中央研究所 材料科学研究所
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宮津 哲哉
電力中央研究所 材料科学研究所
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鎌田 功穂
電力中央研究所 材料科学研究所
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伊藤 雅彦
電力中央研究所 材料科学研究所
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