単結晶SiCの放電加工の基礎研究
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概要
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- 2012-06-13
著者
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阿部 耕三
新日鉄マテリアルズ(株)電子材料事業部 ファインセラミックス技術グループ
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国枝 正典
東京大学
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国枝 正典
東京農工大学大学院機械システム工学専攻
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阿部 耕三
新日鉄マテリアルズ株式会社
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趙 永華
東京大学
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北村 朋生
東京大学
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阿部 耕三
新日鉄マテリアルズ(株)
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