417 微細加工における加工現象の解明(OS-2 放電加工)
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概要
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This paper describes investigations on factors which influence the miniaturizing limit of micro EDM. First, anisotropy found in the micro machining of monocrystalline silicon was investigated. It was found that anisotropy of thermal conductivity results in difference of material removal rates depending on the crystal orientation. Second, change in the discharge voltage with the length and diameter of the micro-rod machined was investigated. Based on the results, the influence of Joule heating in the micro-rod on the limit of miniaturization can be discussed.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2006-11-24
著者
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