フラッシングスプレーCVD法を用いたHfO_2薄膜の作成(続報)
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概要
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- 2012-07-01
著者
-
千田 二郎
同志社大学理工学部
-
石田 耕三
(株)堀場製作所
-
清水 哲夫
(株)エステック
-
千田 二郎
同志社大学
-
千田 二郎
同志社大学大学院
-
大嶋 元啓
福井工業大学
-
富永 浩二
株式会社堀場製作所
-
清水 哲夫
株式会社堀場エステック
-
石田 耕三
株式会社堀場製作所
-
富永 浩二
堀場製作所
-
清水 哲夫
堀場エステック
-
Senda Jiro
Dept. Of Mechanical Engineering Doshisha University
-
千田 二郎
同志社大学工学部 噴霧・燃焼工学研究室
-
石田 耕三
堀場製作所
-
千田 二郎
Dept. of Mech. Eng, Doshisha University
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