フォトニック結晶構造作製を目的とした高Al組成AlGaAs誘導結合型プラズマエッチング
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概要
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- 2011-07-22
著者
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石川 史太郎
北海道大学量子集積エレクトロニクス研究センター及び大学院工学研究科電子情報工学専攻
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近藤 正彦
大阪大学大学院工学研究科量子電子情報工学専攻
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石川 史太郎
大阪大学大学院工学研究科量子電子情報工学専攻
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北林 佑太
大阪大学大学院工学研究科量子電子情報工学専攻
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望月 雅矢
大阪大学大学院工学研究科量子電子情報工学専攻
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