形状シミュレーションによるSiO_及びSiエッチングのモデル化と、BiCSメモリホールエッチング

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概要

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• 2010-11-04

著者

• 川端 研二

  株式会社東芝デバイスプロセス開発センター

• 市川 尚志

  株式会社東芝デバイスプロセス開発センター

• 川端 研二

  株式会社東芝先端メモリ開発センター

• 一之瀬 大吾

  株式会社東芝先端メモリ開発センター

• 玉置 直樹

  株式会社東芝デバイスプロセス開発センター

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