半導体製造装置から排出される四フッ化メタン及び六フッ化硫黄測定用認証標準物質としての一次標準ガスの開発

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概要

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• National Metrology Institute of Japan (NMIJ) has developed certified reference materials (CRMs) of CF4 and SF6 in N2. These CRMs correspond to primary reference gas mixtures in Japan. The nominal concentration of CF4 or SF6 is 5 mmol/mol and its concentration corresponds to concentration level of gas analyses at the system of semiconductor process tools. In the first procedure for developing this CRM, the five primary gas mixtures were prepared using high-accuracy electronic mass comparator (maximum capacity, 15 kg, readability, 1 mg) with handmade automatic cylinder exchanger, for gravimetric blending method. The prepared mixtures were verified by analysis adopting a gas chromatograph with a thermal conductivity detector (GC-TCD), a quality control cylinder, and, Demings least squares method for linear regression analysis. This verification (internal consistency test) confirmed that there was no mistake in the process of the preparation within the accuracy of GC-TCD. The relative standard uncertainty of the response of GC-TCD was ∼0.03%. After that, the long-term stability test for 47 months was performed and the dependence of inner gas pressure in a cylinder from 11 MPa to 1 MPa was evaluated. The relative expended uncertainty of this CRM became 0.2 to 0.3%, which included the uncertainties estimated from results of the preparation, the internal consistency test, a long-term stability test, and, an inner pressure dependence test. This expanded uncertainty is sufficiently small for users of this CRM.

• 2009-05-05

著者

• 加藤 健次

  独立行政法人産業技術総合研究所計測標準研究部門有機分析科有機標準第1研究室

• 池田 拓也

  大陽日酸株式会社

• 松本 信洋

  独立行政法人産業技術総合研究所計測標準研究部門有機分析科有機標準第1研究室

• 野口 文子

  独立行政法人産業技術総合研究所計測標準研究部門有機分析科有機標準第1研究室

• 青木 伸行

  独立行政法人産業技術総合研究所計測標準研究部門有機分析科有機標準第1研究室

• 伊崎 隆一郎

  大陽日酸株式会社

• 坂田 晋

  大陽日酸株式会社

• 吉田 秀俊

  大陽日酸株式会社

• 加藤 健次

  独立行政法人産業技術総合研究所計測標準研究部門

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