スラブ光導波路法による高純度ガスの露点測定
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概要
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分光学的分析手法の一つであるスラブ光導波路分光法は, 薄い光導波路内のコア層でプローブ光を何度も反射させることにより, 導波路表面の試料を高感度に検出する方法である.この手法は内部反射法の一種であり, 表面の極近傍の試料を選択的に検出できる.これまで色素やタンパク質などを対象とした研究がなされてきたが, 本研究では, 工業用ガスとして利用される窒素ガス中の微量水分分析への新規応用を検討するため, スラブ光導波路技術を基にした露点計を試作し, 評価を行った.その結果, 試作露点計は1)-65℃付近までの検出が可能であること, 2)厚さ0.1mmの薄い導波路の利用により高感度化が可能になったこと, 3)従来法の一つである静電容量式と比較して非常に速い応答性能を持つことが分かったことにより, スラブ光導波路法を用いたガス中微量水分測定(低露点測定)への実用的な応用の可能性が示された.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 2005-03-05
著者
-
加藤 健次
独立行政法人産業技術総合研究所計測標準研究部門有機分析科有機標準第1研究室
-
高津 章子
独立行政法人 産業技術総合研究所 計測標準研究部門
-
加藤 健次
独立行政法人産業技術総合研究所計測標準研究部門
-
高津 章子
工業技術院物質工学工業技術研究所
-
内田 直子
独立行政法人産業技術総合研究所計測標準研究部門
-
高津 章子
独立行政法人産業技術総合研究所計測標準研究部門
-
高津 章子
独立行政法人 産業技術総合研究所
-
加藤 健次
産業技術総合研 計測標準研究部門
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