坂田 晋 | 大陽日酸株式会社

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概要

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関連著者

• 坂田 晋

  大陽日酸株式会社

• 坂田 晋

  大陽日酸

• 中川 克広

  大陽日酸株式会社

• 中村 久夫

  ジャパンファインプロダクツ株式会社

• 君島 哲也

  大陽日酸株式会社

• 加藤 健次

  独立行政法人産業技術総合研究所計測標準研究部門有機分析科有機標準第1研究室

• 池田 拓也

  大陽日酸株式会社

• 松本 信洋

  独立行政法人産業技術総合研究所計測標準研究部門有機分析科有機標準第1研究室

• 野口 文子

  独立行政法人産業技術総合研究所計測標準研究部門有機分析科有機標準第1研究室

• 青木 伸行

  独立行政法人産業技術総合研究所計測標準研究部門有機分析科有機標準第1研究室

• 伊崎 隆一郎

  大陽日酸株式会社

• 吉田 秀俊

  大陽日酸株式会社

• 加藤 健次

  独立行政法人産業技術総合研究所計測標準研究部門

• 山澤 賢

  財団法人化学物質評価研究機構

• 四角目 和広

  財団法人化学物質評価研究機構

• 有村 忠信

  大陽日酸株式会社

• JOHNSON Greg

  Matheson Tri-Gas, Inc.

• WISTRAND Dan

  Matheson Tri-Gas, Inc.

• Johnson Greg

  Matheson Tri-gas Inc.

• Wistrand Dan

  Matheson Tri-gas Inc.

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著作論文

• 半導体製造装置から排出される四フッ化メタン及び六フッ化硫黄測定用認証標準物質としての一次標準ガスの開発
• 企業内日米試験所間のppbレベル金属不純物分析の技能試験
• 技術報告 半導体プロセスガス中の粒子制御技術評価のための溶接ヒュームを用いた超微粒子含有ドライガス発生法
• 技術紹介 高純度ガス中の微量金属不純物分析の信頼性評価

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