薄肉大面積マイクロ・ナノ構造体の溶融微細転写プロセス
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概要
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- 2008-10-01
著者
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伊東 宏
(株)日本製鋼所 機械研究所
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焼本 数利
(株)日本製鋼所 広島研究所
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岸田 和人
(株)日本製鋼所 開発企画部
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白銀屋 司
(株)日本製鋼所 機械研究所
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焼本 数利
(株)日本製鋼所 機械研究所
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白銀屋 司
(株)日本製鋼所
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