ハイブリッド型微細加工技術を用いた金ナノ粒子の単電子トンネル効果の観測

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概要

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•   We would like to share our recent results from a research on the single electron tunneling effect in a double-barrier tunneling junction (DBTJ) structure. Single Au nanoparticles were trapped in a nanogap electrodes, whose gap size was precisely controlled using a combination of electron beam lithography and molecular ruler technique. Here, we introduce how the novel combination technique was utilized to obtain the nanogap electrode. We also introduce the size effect of Au particles on the single electron tunneling behavior as a Coulomb island. Finally, we introduce the relation between the geometrical and electrical properties of the DBTJ.

• 日本真空協会の論文
• 2008-07-20

著者

• 田中 啓文

  自然科学研究機構・分子科学研究所・分子スケールナノサイエンスセンター

• 根岸 良太

  理化学研究所・石橋極微デバイス工学研究室

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