Oblique Angle Deposition of Columnar Niobium Films for Capacitor Application
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概要
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- Japan Institute of Metalsの論文
- 2008-06-01
著者
-
Habazaki H
Institute For Materials Research Tohoku University
-
TANVIR M.
Graduate School of Engineering, Hokkaido University
-
FUSHIMI K.
Graduate School of Engineering, Hokkaido University
-
AOKI Y.
Graduate School of Engineering, Hokkaido University
-
HABAZAKI H.
Graduate School of Engineering, Hokkaido University
-
Habazaki H.
Graduate School Of Engineering Hokkaido University
-
Tanvir M.
Graduate School Of Engineering Hokkaido University
-
Tauseef Tanvir
Graduate School of Engineering, Hokkaido University
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