レーザーアシスト放電による高出力EUV光源の開発

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 2007-11-26

著者

• 細貝 知直

  大阪大学光科学センター

• 堀岡 一彦

  東工大総理工

• 堀岡 一彦

  東京工業大学総合理工学研究科創造エネルギー専攻

• 堀岡 一彦

  東京工業大学

• 堀岡 一彦

  東京工業大学大学院総合理工学研究科

• 堀岡 一彦

  東工大

• 細貝 知直

  東工大・総理工

• 細貝 知直

  東京工業大学 大学院総合理工学研究科

• 佐藤 弘人

  極端紫外線露光システム開発機構

• ジドコフ アレクセイ

  電力中央研究所

• 横山 拓馬

  極端紫外線露光システム開発機構

• 細貝 知直

  東京工業大学

• 細貝 知直

  阪大光セ:jst Crest

• Zhidkov A.

  原研関西研

• 細貝 知直

  阪大光セ:JST,CREST

関連論文

• 2.2 外部磁場を用いた電子ビーム発生の制御(2.電子ビーム制御に向けた進展,レーザー電子加速の進展)
• 23pTE-3 準剛体キャピラリーを用いたWarm Denseプラズマの導電率評価(23pTE プラズマ科学(高エネルギー密度プラズマ・イオン源),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• 26pYL-15 大強度イオンビームによる高エネルギー密度実験の検討(プラズマ基礎(原子過程・高エネルギー密度プラズマ物理),領域2,プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理)
• 26pYL-14 大電流電子ビームを用いたWarm Dense Matter生成(プラズマ基礎(原子過程・高エネルギー密度プラズマ物理),領域2,プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理)
• 18pRB-10 大強度重イオンビーム集束用プラズマレンズの検討
• 大強度重イオンビーム理工学と慣性核融合
• 21aZB-1 重イオンビーム加熱によるWarm Dense Matterの生成・診断法の検討(21aZB プラズマ基礎(高エネルギー密度プラズマ),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• 23pRE-1 水中細線放電法によるWarm Dense Matter科学 : タングステン、アルミニウムの導電率の密度・温度依存性(プラズマ基礎(高エネルギー密度プラズマ),領域2,プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理)
• パルスパワー装置で駆動される高エネルギー密度プラズマのパラメータ領域と評価
• 21pRS-4 水中細線放電法によるWarm Dense Matter科学 : 導電率の密度、温度依存性(プラズマ基礎,領域2,プラズマ基礎・プラズマ科学・核談合プラズマ・プラズマ宇宙物理)
• 20aQE-7 放電生成プラズマ低Zイオンの原子過程の時間発展(プラズマ基礎(原子過程・分光・診断法),領域2,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)
• 20pQE-8 水中細線放電に伴う流体履歴を用いた状態方程式の半実験的計測(プラズマ基礎(非線形現象・高エネルギー密度プラズマ),領域2,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)
• パルスパワー技術を用いた高エネルギー密度プラズマの生成
• 25aQB-4 水中細線放電法によるWarm Dense Matterの導電率の検討(25aQB プラズマ基礎(超高強度レーザー),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• 30aUG-8 水中細線放電によるWarm Dense Matter科学 : 液体、気体、プラズマへの相変化(30aUG 高エネルギー密度状態の科学(X線・凝縮系プラズマ物性),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• 30aUG-8 水中細線放電によるWarm Dense Matter科学 : 液体、気体、プラズマへの相変化(30aUG 高エネルギー密度状態の科学(X線・凝縮系プラズマ物性),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• パルスパワー技術を用いた高エネルギー密度プラズマ科学
• Semi-Empirical Approach to Pulsed Wire Discharges in Water as a Method for Warm Dense Matter Studies
• 22aWG-7 水中パルスパワー放電を用いたWarm Dense Matter科学(プラズマ基礎(プラズマ生成・応用),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• 22aWG-7 水中パルスパワー放電を用いたWarm Dense Matter科学(プラズマ基礎(プラズマ生成・応用),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• 26pXG-10 パルスパワー駆動水中細線放電による強結合プラズマの特性評価(プラズマ基礎(ダスト・応用・その他),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• 25pA45p 水中細線放電における強結合プラズマの特性評価(プラズマ基礎, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
• 14aQA-13 水中ワイヤー放電による強結合プラズマの特性評価(プラズマ基礎・科学 : レーザー応用, 基礎実験, 領域 2)
• 14aQA-13 水中ワイヤー放電による強結合プラズマの特性評価(プラズマ基礎・科学 : レーザー応用, 基礎実験, 領域 2)
• 28aXH-5 強結合プラズマ中の輸送特性評価に向けた流体解析(理論・数値計算(領域内横断))(領域2)
• パルスパワー技術を用いた強結合プラズマ実験
• 26aB07P パルスパワーで駆動される強結合プラズマ実験(プラズマ基礎・応用)
• 放電型エキシマレーザの高繰返し化に伴う密度擾乱
• レーザトリガ型Sn EUV放電光源の開発
• レーザーアシストを用いたEUV放電光源の開発
• 同軸二重ノズル型電極を用いたZピンチプラズマからのEUV放射特性
• Development of a Gas Jet-Type Z-Pinch EUV Light Source for Next-Generation Lithography
• 26aB26P キヤピラリーZピンチ放電プラズマを用いた極端紫外光源の出力特性(プラズマ基礎・応用)
• 28aSA-8 Top-Bプロジェクト10Mgauss級超強磁場発生実験(28aSA プラズマ科学(高エネルギー密度プラズマ・その他),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• 23aTJ-3 高速電磁パルスで駆動されるプラズマ衝撃波の構造(23aTJ プラズマ宇宙物理,領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• 誘導電圧重畳型高精度ビームバンチャー
• 26pYF-12 高速電磁パルスで駆動されるプラズマ衝撃波の形成と観測(プラズマ宇宙物理(プラズマ宇宙物理),領域2,プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理)
• 深紫外フラッシュランプの分光特性評価と環境応用
• 対向Zピンチのプラズマダイナミクス
• 23aZH-8 強い衝撃波内部の電子温度計測と緩和過程(23aZH プラズマ宇宙物理,領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• 24aQE-1 電磁パルスで駆動される強い衝撃波の緩和領域の評価(プラズマ宇宙物理,領域2,プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理)
• 24pQE-7 大強度重イオンビーム進行方向圧縮過程でのハロー粒子軌道半径の増加(慣性核融合(ハイドロ・診断・高速点火),領域2,プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理)
• 30pWH-1 超高強度レーザー照射により生成したプロトンのターゲット上空間分布(プラズマ基礎・科学(超高強度レーザー))(領域2)
• 高強度レーザーによる高エネルギーイオン発生のための集光実験
• 24aRS-1 大電流重イオンビームパルス圧縮過程での進行方向自己電場による半径方向エミッタンス増加への影響(核融合プラズマ(慣性閉じ込め),領域2,プラズマ基礎・プラズマ科学・核談合プラズマ・プラズマ宇宙物理)
• 23pQA-1 大電流重イオンビームパルス圧縮過程での進行方向・半径方向結合運動の影響(23pQA 核融合プラズマ(慣性閉じ込め核融合/超高強度レーザー),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• 30aUC-12 大強度重イオンビーム進行方向圧縮における半径方向収束磁場誤差の影響(核融合(不安定性/輸送・閉じ込め特性/その他),30aUC プラズマ宇宙物理,領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• 20aWG-9 大電流重イオンビーム進行方向圧縮過程でのダイポールモードの影響(核融合プラズマ(強結合系/プラズマ応用),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• 25pXF-1 大強度重イオンビームバンチングと最終段集束過程でのエミッタンス増加(核融合プラズマ(不安定性),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• 12aQA-5 重イオンビームバンチングと最終段収束(理論 数値計算 : 領域内横断, 領域 2)
• 20aYB-12 大強度重イオンビームバンチング過程でのビームダイナミクスと空間電荷効果の影響
• 19aRA-5 重イオンビーム・バンチングの物理 : ビーム輸送の安定性
• 28aWD-8 誘導加速器を用いた重イオンビームの加速とバンチング : 空間電荷効果と相対論効果の検討
• 2a-F-14 ヘリウム冷却磁気絶縁型ダイオードの実験V
• 3p-RD-3 ヘリウム冷却磁気絶縁型ダイオードの実験IV
• 3p-RD-2 クライオ陽極Brダイオードによるイオンビームの発生IV
• 12a-DH-6 ヘリウム冷却磁気絶縁型ダイオードの実験III
• 12a-DH-5 クライオ陽極Brダイオードによるイオンビームの発生III
• 29a-B-7 ヘリウム冷却磁気絶縁型ダイオードの実験 II
• 30a-Y-12 クライオ陽極磁気絶縁ダイオードのビーム特性
• 30a-Y-11 クライオ陽極磁気絶縁ダイオードの電圧電流特性
• 3p-NZ-1 クライオ陽極を用いる新型磁気絶縁ダイオード
• 31p-D-9 Inverse Reflex Tetrodeのビーム特性
• 2p-P-7 反転反射型四極管によるイオンビームの発生
• 27p-F-7 理研RIビームファクトリーにおける高エネルギー密度状態の研究計画
• 29aZL-4 レーザーイオン源のグリッド制御化とビーム品質への影響 II
• 19aRA-6 低価数大電流レーザーイオン源開発のための、短波長レーザーにより生成したプラズマの診断
• 19aRA-1 レーザープラズマ入射型大電流イオン・インジェクターの開発
• 28aWD-3 短波長レーザーを用いた大電流低価数イオン源の開発
• 28aWD-2 重イオン慣性核融合のための大電流レーザーイオン源の開発
• 22pXF-10 レーザープラズマ入射型イオン・インジェクター
• 22pWE-4 レーザーイオン源のエミッタンスおよび価数分解測定
• 23aB-12 誘導加速器用大電流レーザーイオン源の開発II
• 31a-XH-1 大電流レーザーイオン源の性能評価
• 27p-F-9 インダクション加速器による高輝度イオンビームの発生
• 縦方向のビーム・マニュピュレーションに伴うエミッタンス成長
• 磁場ガイド放電プラズマを用いた長パルスEUV光源
• 静電加速型パルスプラズマ推進器の開発
• レーザープラズマ電子加速における電子バンチ長の評価
• 21aZH-3 プラズママイクロオプティクスを用いた2段階レーザー航跡場電子加速 : 低エミッタンス、準単色電子ビームの安定発生に向けてII(21aZH プラズマ科学(非線形現象・発振・加速),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• 21aZH-2 プラズママイクロオプティクスを用いた2段階レーザー航跡場電子加速 : 低エミッタンス、準単色電子ビームの安定発生に向けてI(21aZH プラズマ科学(非線形現象・発振・加速),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• レーザー航跡場加速による高品質電子ビーム発生
• 23aQJ-2 レーザー航跡場加速におけるプラズママイクロオプティクスの利用とプレチャネル形成過程(23aQJ プラズマ科学(高エネルギー密度プラズマ・プラズマ応用),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• 23aQJ-3 強磁場印加型のレーザー航跡場加速実験に用いるパルス駆動電磁石の開発(23aQJ プラズマ科学(高エネルギー密度プラズマ・プラズマ応用),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• 23aQJ-1 レーザー航跡場加速に用いる超音速ガスジェット標的の3次元密度分布評価(23aQJ プラズマ科学(高エネルギー密度プラズマ・プラズマ応用),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• レーザーアシスト放電による高出力EUV光源の開発
• 27aYE-10 レーザー航跡場生成におけるイオン化の影響(27aYE 領域2・ビーム物理領域合同(高エネルギー密度物理・超高強度レーザー・レーザープラズマ加速),ビーム物理領域)
• 27aYE-10 レーザー航跡場生成におけるイオン化の影響(27aYE 領域2・ビーム物理領域合同(高エネルギー密度物理・超高強度レーザー・レーザープラズマ加速),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• 26aBC-2 レーザー航跡場加速における電子自己入射に関する研究(26aBC ビーム物理領域,領域2合同 レーザープラズマ加速・レーザーと物質の相互作用,領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• 26aBC-1 スプラッシュプラズマチャネルを用いたレーザー航跡場加速における電子ビーム制御(26aBC ビーム物理領域,領域2合同 レーザープラズマ加速・レーザーと物質の相互作用,領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• レーザー航跡場加速器の実用化に向けた課題と開発現状
• 26aBC-4 レーザー加速極短電子バンチの利用に向けた輸送系の開発(26aBC ビーム物理領域,領域2合同 レーザープラズマ加速・レーザーと物質の相互作用,領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• 26aBC-3 レーザー航跡場加速における電子ビーム方向制御に関する研究(26aBC ビーム物理領域,領域2合同 レーザープラズマ加速・レーザーと物質の相互作用,領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• 26aBC-2 レーザー航跡場加速における電子自己入射に関する研究(26aBC ビーム物理領域,領域2合同 レーザープラズマ加速・レーザーと物質の相互作用,ビーム物理領域)
• 26aBC-1 スプラッシュプラズマチャネルを用いたレーザー航跡場加速における電子ビーム制御(26aBC ビーム物理領域,領域2合同 レーザープラズマ加速・レーザーと物質の相互作用,ビーム物理領域)
• 26aBC-3 レーザー航跡場加速における電子ビーム方向制御に関する研究(26aBC ビーム物理領域,領域2合同 レーザープラズマ加速・レーザーと物質の相互作用,ビーム物理領域)
• 26aBC-4 レーザー加速極短電子バンチの利用に向けた輸送系の開発(26aBC ビーム物理領域,領域2合同 レーザープラズマ加速・レーザーと物質の相互作用,ビーム物理領域)
• 28aTN-1 極短パルス電子イメージングに向けたステージングレーザー航跡場加速器開発の現状(28aTN ビーム物理領域,領域2合同 レーザープラズマ加速および高エネルギー密度物理1,ビーム物理領域)
• 30aSA-4 レーザー航跡場加速を用いた極短電子ビームの安定生成(30aSA ビーム物理領域,領域1,領域2合同シンポジウム 主題:フェムト秒・アト秒電子ビームの生成・測定・応用,ビーム物理領域)
• 28aTN-1 極短パルス電子イメージングに向けたステージングレーザー航跡場加速器開発の現状(28aTN ビーム物理領域,領域2合同 レーザープラズマ加速および高エネルギー密度物理1,領域2(プラズマ))

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク