keV領域多価イオンナノビーム生成とその応用
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概要
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We have developed a method to produce a micro- or nano-sized beam of highly charged ions with a glass capillary. A transmission of 8 keV Ar8+ beam through the capillary 5 cm long with 800/24 μm inlet/outlet inner diameters was observed stably for more than 1200 s. The transmitted beam had approximately the same size as the outlet inner diameter with a beam density enhancement of about 10 and a divergence of ±5 mrad. The initial beam was guided through a capillary tilted by ±87 mrad, and it still kept the incident charge. In order to fabricate the nano-sized outlet of the capillary, a Focused Ion Beam of Ga+ with 40 kV acceleration was employed.
- 日本真空協会の論文
- 2007-09-20
著者
-
岩井 良夫
理研原子物理
-
池田 時浩
理研原子物理
-
成沢 忠
高知工科大電子・光工
-
山崎 泰規
東大総合文化
-
池田 時浩
理化学研究所
-
小島 隆夫
理研
-
小島 隆夫
理化学研究所・原子物理研究室
-
根引 拓也
高知工科大学電子・光システム工学科
-
池田 時浩
理研
-
成沢 忠
高知工科大学電子・光システム工学科
-
岩井 良夫
理化学研究所山崎原子物理研究室
-
金井 保之
理化学研究所山崎原子物理研究室
-
山崎 泰規
理化学研究所山崎原子物理研究室
-
成沢 忠
高知工科大 工
-
YAMAZAKI Yasunori
The INstitute of Physical and Chemical Research(RIKEN)
-
山崎 泰規
理化学研究所
-
金井 保之
理化学研究所原子物理研究室
-
岩井 良夫
理化学研究所原子物理研究室
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