SOI基板を用いた非冷却マイクロボロメータ
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概要
- 論文の詳細を見る
- 1999-11-12
著者
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原 仁
横河電気(株) R&dセンター
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原 仁
横河電機株式会社
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岸 直輝
横河電機株式会社
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蒲原 敦彦
横河電機株式会社
-
山岸 秀章
横河電機株式会社
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蒲原 敦彦
横河電機(株)
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岸 直輝
横河電機(株)r&d 先行技術開発センター
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