2波長フィルタとSiボロメータを組み合わせた二酸化炭素濃度検出
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2000-07-18
著者
関連論文
- ガス濃度分光分析のための広帯域可変波長ファブリ・ペローフィルター
- 分光分析への応用
- 事例紹介 分光分析への応用 (特集 マイクロマシン--実用化とナノ領域への展開)
- マイクロ光分析デバイスの開発と二酸化炭素濃度センサへの応用
- 誘導結合高周波プラズマ支援マグネトロンスパッタによる光学多層膜フィルタの作製と二酸化炭素濃度検出への応用
- 2波長フィルタとSiボロメータを組み合わせた二酸化炭素濃度検出
- SOI基板を用いた非冷却マイクロボロメータ
- 単結晶シリコンマイクロボロメータの設計と試作
- 微小アンテナ型マイクロ赤外分光デバイス