岸 直輝 | 横河電気株式会社マイクロマシン研究所
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概要
関連著者
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原 仁
横河電気(株) R&dセンター
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岸 直輝
横河電気株式会社マイクロマシン研究所
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原 仁
横河電機株式会社
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岸 直輝
横河電機株式会社
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原 仁
横河電気株式会社マイクロマシン研究所
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尾上 寧
横河電機
著作論文
- 誘導結合高周波プラズマ支援マグネトロンスパッタによる光学多層膜フィルタの作製と二酸化炭素濃度検出への応用
- 2波長フィルタとSiボロメータを組み合わせた二酸化炭素濃度検出
- 微小アンテナ型マイクロ赤外分光デバイス