原 仁 | 横河電気株式会社マイクロマシン研究所

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概要

• 同名の論文著者
• 横河電気株式会社マイクロマシン研究所の論文著者

関連著者

• 原 仁

  横河電気(株) R&dセンター

• 原 仁

  横河電気株式会社マイクロマシン研究所

• 岸 直輝

  横河電気株式会社マイクロマシン研究所

著作論文

• 誘導結合高周波プラズマ支援マグネトロンスパッタによる光学多層膜フィルタの作製と二酸化炭素濃度検出への応用

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