ダイヤモンド薄膜のヘテロエピタキシャル成長 : 高配向膜および融合膜
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概要
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- 1997-11-18
著者
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林 和志
神戸製鋼所電子技術研究所
-
横田 嘉宏
神戸製鋼所電子技術研究所
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橘 武史
神戸製鋼所電子技術研究所
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小橋 宏司
神戸製鋼所電子技術研究所
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小橋 宏司
(財)ファインセラミックスセンター Fct研究本部
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橘 武史
神戸製鋼所
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小橋 宏司
神戸製鋼所
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