白金上のヘテロエピタキシャルダイヤモンド膜の合成と応用
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概要
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- 1998-11-17
著者
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小橋 宏司
(株)神戸製鋼所
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小橋 宏司
(財)ファインセラミックスセンター Fct研究本部
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横田 嘉宏
(株)神戸製鋼所電子技術研究所
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橘 武史
(株)神戸製鋼所電子技術研究所
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林 和志
(株)神戸製鋼所電子技術研究所
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横田 嘉宏
(株)神戸製鋼所 技術開発本部
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