窒素イオンビームとアンモニアビームによるシリコン窒化膜形成機構の相違
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概要
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- 1996-11-27
著者
-
石塚 真治
秋田高専
-
楠 勲
東北大学多元物質科学研究所
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石塚 真治
東北大学 科学計測研究所
-
猪狩 佳幸
東北大学 科学計測研究所
-
高岡 毅
東北大学 科学計測研究所
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楠 勲
東北大学 科学計測研究所
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高岡 毅
東北大学多元物質科学研究所
-
猪狩 佳幸
東北大学多元物質科学研究所
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