極薄SiGeバッファー層を用いたSi(100)基板上へのGeヘテロエピタキシャル成長

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概要

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• 2006-10-03

著者

• 中津留 順子

  キヤノンアネルバ(株)

• 伊達 大樹

  キヤノンアネルバ(株)

• 真白 すぴか

  キヤノンアネルバ(株)

• 池本 学

  キヤノンアネルバ(株)

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