ターボ分子ポンプ内流れのシミュレーション

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 2006-08-20

著者

• 松井 純

  横浜国立大学 工学研究院

• 松井 純

  横国大

• 松井 純

  横浜国立大学工学部生産工学科

• 松井 純

  国立大学法人横浜国立大学工学研究院

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