薄いゲート酸化膜のTDDB電界加速寿命予測モデル

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概要

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• 1996-12-05

著者

• 関根 正廣

  三菱電機(株)ULSI開発研究所

• 木村 幹広

  三菱電機(株)ULSI開発研究所 評価・解析センター

• 木村 幹広

  三菱電機(株)

• 関根 正廣

  三菱電機(株)

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