Cu/Low-k デバイスに対応した環境適合型の有機剥離液の開発

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概要

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• 表面技術協会の論文
• 2005-07-01

著者

• 青木 秀充

  Necエレクトロニクス(株)プロセス技術事業部

• 位地 正年

  Nec(株)基礎・環境研究所

• 小糸 達也

  NEC(株)基礎・環境研究所

• 平野 啓二

  NEC(株)基礎・環境研究所

• 笠間 佳子

  NECエレクトロニクス(株)プロセス技術事業部

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