青木 秀充 | Necエレクトロニクス(株)プロセス技術事業部
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概要
関連著者
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青木 秀充
Necエレクトロニクス(株)プロセス技術事業部
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小糸 達也
NEC(株)基礎・環境研究所
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位地 正年
Nec(株)基礎・環境研究所
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平野 啓二
NEC(株)基礎・環境研究所
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笠間 佳子
NECエレクトロニクス(株)プロセス技術事業部
著作論文
- Cu/Low-Kビアホールのクリーニング〔含 英文〕 (新しい地球環境と豊かなネットワーク社会を生み出す半導体技術) -- (セッション4 多層配線/エッチング--Cu/Low-k実用化が進む中での多層配線/エッチング技術動向)
- Cu/Low-k デバイスに対応した環境適合型の有機剥離液の開発