無電解コバルト合金めっきによる銅拡散バリヤ膜の形成
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概要
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- 2001-12-13
著者
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赤星 晴夫
(株)日立製作所 日立研究所
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板橋 武之
(株)日立製作所 日立研究所
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板橋 武之
株式会社日立製作所日立研究所電子材料研究部
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板橋 武之
(株)日立製作所 基礎研究所 環境エネルギーラボ
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中野 広
(株)日立製作所
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赤星 晴夫
日立 日立研
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中野 広
(株)日立製作所日立研究所
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