局所真空方式電子ビーム露光装置を用いた次世代光ディスク原盤マスタリング
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概要
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- 2005-02-01
著者
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篠田 昌孝
ソニー(株)中央研究所
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篠田 昌孝
ソニー(株)マテリアル研究所
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斉藤 公博
ソニー(株)ホームエレクトロニクスネットワークカンパニー・オプティカルシステム開発部門
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武田 実
ソニー(株)ホームエレクトロニクスネットワークカンパニー・オプティカルシステム開発部門
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古木 基裕
ソニー(株)ホームエレクトロニクスネットワークカンパニー・オプティカルシステム開発部門
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武田 実
ソニー(株)bbncオプティカルシステム開発本部
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