イオン注入制御による超機能耐環境材料の開発(<特集>イオンを用いた表面改質)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 2004-12-05
著者
関連論文
- 26aB09 立方晶GaNのrf-MBE成長における窒素フラックス一様性(窒化物(2),第34回結晶成長国内会議)
- プラズマ励起MBE法によるSi基板への立方晶GaN, AlN, InNヘテロエピタキシャル初期成長過程(AlN結晶成長シンポジウム)
- TiAlの酸化特性に及ぼす窒素イオン注入の影響
- 金属パルスイオン注入によるTiAlの高温耐酸化性向上
- 金属パルスプラズマイオン注入によるTiAl基材料の高温耐酸化性の向上について
- イオン工学でさまざまな産業の新技術の開発に貢献する(精密工学の最前線)
- イオン注入制御による超機能耐環境材料の開発(イオンを用いた表面改質)
- 高指数面基板上の横型p-n接合を用いた光電子デバイス