誘導結合プラズマスパッタリング法によるマイクロ波デバイス用YBa_2Cu_3O_y薄膜の作製と評価
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概要
- 論文の詳細を見る
- 1999-11-10
著者
-
大嶋 重利
山形大・工
-
鈴木 敏幸
東北精機
-
佐藤 史朗
山形大学工学部電子情報工学科
-
楠 正暢
山形大・工
-
鈴木 敏幸
山形大・工
-
佐藤 史郎
山形大・工
-
稲童丸 桃子
山形大・工
-
向田 昌志
山形大・工
-
稲童丸 桃子
山形大学工学部
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