ナノプリント技術による微細構造の形成とバイオMEMSへの応用(<特集>メカニカルリソグラフィ)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 2004-10-05
著者
-
大橋 健也
(株)日立製作所日立研究所
-
宮内 昭浩
(株)日立製作所日立研究所
-
宮内 昭浩
株式会社 日立製作所 材料研究所電子材料研究部
-
大橋 健也
日立 材料研
-
桑原 孝介
(株)日立製作所 日立研究所
-
荻野 雅彦
(株)日立製作所 材料研究所
-
安藤 拓司
(株)日立製作所 材料研究所
-
大橋 健也
(株)日立製作所 日立研究所
-
安藤 拓司
(株)日立製作所 材料研究所 電子材料研究部
-
桑原 孝介
(株)日立製作所 材料研究所
-
宮内 昭浩
(株)日立製作所中央研究所
関連論文
- イオンビームデポジション法による 高耐食・高純度鉄薄膜の形成
- (7) イオンビームデポジションによる最近の物質形成研究(主題 : 新しい素材・材料の開発と周辺技術)(素材工学研究所第 2 回研究懇談会)(素材工学研究会記事)
- 高濃度ボロンドープ・Siエピタキシャル成長技術を用いたソース/ドレイン積み上げ構造MOSFETの試作
- 家電製品の腐食実態調査 : 家電製品を模擬した腐食試験法の開発(1)
- 家電製品の腐食実態と新腐食試験法ACTEの開発
- イオンビ-ムデポジション(IBD)法による高純度金属薄膜作製技術の開発
- シートナノインプリントによる微細構造の形成 (特集 ナノインプリントとナノプリント技術)
- ナノインプリント技術 : ナノスケールパターンの簡易転写技術
- ナノインプリント技術と応用
- ナンインプリント技術のバイオデバイスへの応用
- ナノインプリント技術のバイオ分野への応用 (マテリアルフォーカス:エレクトロニクス 継ぎ目なしにパターン転写できるか?柔らかい媒体に転写可能か? HDD/FDP/LED/半導体/電池など,様々な用途が期待できる ナノインプリントのマテリアル,装置と離型性・安定性の克服に向けた課題)
- ナノインプリント技術とバイオ分野への応用 (特集 注目されるバイオMEMS)
- ナノインプリント技術とその応用
- ナノインプリント技術のバイオ応用
- ナノインプリント技術による表面改質
- ナノプリント技術による微細構造の形成とバイオMEMSへの応用(メカニカルリソグラフィ)
- ナノインプリント技術による微細構造の形成
- ナノインプリント技術(新しいパターン形成における材料・プロセス技術)
- ナノプリント技術による高アスペクト比構造の形成と応用
- ナノプリントによる簡便・低コストなナノ加工技術 (特集2 ナノテクノロジーとMEMSが切り開く日本の未来)
- β-FeSi_2/n-Siへテロ接合の作製と光電特性
- イオン注入法によって作製したβ-FeSi2:光起電力特性と準安定γ相 (〈特集〉環境半導体)
- 環境半導体・鉄シリサイドの作製 (ポスターセッション特集(1))
- イオンビームデポジション法による高品位金属薄膜の作製
- IBD法によりさびない鉄薄膜を実現
- CI-2-4 ナノリソグラフィのバイオ応用(CI-2.ナノ加工技術の最新動向と次世代デバイスへの応用,依頼シンポジウム,ソサイエティ企画)
- ナノ加工技術の産業応用