安藤 拓司 | (株)日立製作所 材料研究所 電子材料研究部

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関連著者

• 大橋 健也

  (株)日立製作所日立研究所

• 宮内 昭浩

  (株)日立製作所日立研究所

• 宮内 昭浩

  株式会社 日立製作所 材料研究所電子材料研究部

• 大橋 健也

  日立 材料研

• 桑原 孝介

  (株)日立製作所 日立研究所

• 荻野 雅彦

  (株)日立製作所 材料研究所

• 安藤 拓司

  (株)日立製作所 材料研究所

• 大橋 健也

  (株)日立製作所 日立研究所

• 安藤 拓司

  (株)日立製作所 材料研究所 電子材料研究部

• 桑原 孝介

  (株)日立製作所 材料研究所

• 宮内 昭浩

  (株)日立製作所中央研究所

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著作論文

• ナノインプリント技術による表面改質
• ナノプリント技術による微細構造の形成とバイオMEMSへの応用(メカニカルリソグラフィ)
• ナノインプリント技術による微細構造の形成
• ナノプリント技術による高アスペクト比構造の形成と応用

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