熱フィラメントCVD法による鉄基板上へのダイヤモンドの合成
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概要
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Diamond synthesis onto iron substrate was tried by hot-filament chemical vapor deposition (HFCVD). Diamond can be synthesized at an atmospheric pressure by spraying a source gas onto an iron substrate with a nozzle. Diamond crystal grows to a size of about 20μm in 180 min. Diamond synthesized by the present method contains only a small amount of non-diamond carbon. Diamond synthesis on a silicon wafer is also enhanced by spraying a source gas onto a substrate like an iron case.
- 一般社団法人 表面技術協会の論文
- 2003-10-01
著者
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