SiCパワーデバイスのためのオーミックコンタクト形成技術

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概要

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• 表面技術協会の論文
• 2004-01-01

著者

• 谷本 智

  日産自動車株式会社総合研究所第1技術研究所

• 谷本 智

  富山大・工・電子

• 谷本 智

  日産自動車(株)総合研究所 社会・フロンティア研究所

• 谷本 智

  日産自動車(株)総合研究所 電子情報研究所

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