ECRプラズマCVDを用いたX線マスク用SiC膜の形成

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 1992-12-20

著者

• 吉原 秀雄

  Nttアドバンステクノロジ(株)

• 吉原 秀雄

  Ntt アドバンステクノロジ(株)

• 大久保 高志

  NTT LSI研究所

• 小田 政利

  NTTアドバンステクノロジ

• 吉原 秀雄

  Nttアドバンステクノロジ

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