真空一貫プロセスによるGaAsのin situ電子ビームリソグラフィ
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概要
著者
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杉本 喜正
日本電気株式会社光エレクトロニクス研究所
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石川 知則
光技術研究開発株式会社つくば研究所
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河西 秀典
光技術研究開発株式会社つくば研究所
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杉本 喜正
光技術研究開発(株)つくば研究所
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杉本 喜正
静岡大学電子工学研究所
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杉本 喜正
物材機構・ナノテク融合セ
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石川 知則
光技術研究開発
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